高纯气体在国民经济中起着决定性的作用,其应用非常迅速,几乎渗透各行各业,气体产品作为现代工业的重要基础材料,广泛应用于冶金等行业。
对不同性质的高纯气体天然气,要规划一个独立的供气区,一般分为三个区:腐蚀性/有毒性气体、可燃性气体、惰性气体区域,将同一天然气浓度加强管理和可燃气体区,以专门规划爆破墙和渗漏,如果空间不足,可以考虑。放置惰性气体和有毒腐蚀性气体区域。
为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除应配备必要的连续检测仪器外,如水或氧杂质含量测定仪等,还应设置定期采样的检测取样口,以便在规定的时间取样,分析高纯气体中各种杂质的含量。
管道设计需要考虑运输距离,距离越长,成本越高,风险越大,通常设计流量越合理,20 mL/s,可燃气体小于10 mL/s,有毒/腐蚀性气体小于8 mL/s,在使用中设计该方面,需要考虑使用对等压力和管径大小,前者与气体特性有关,后者管径通常指向使用的1/4“~3/8”。