随着我国半导体、制芯业的发展,高纯气体管道的应用也越来越广,像半导体、电子、医药、食品等行业都是不同程度的使用了,因此它的施工对于我们来说也越来越重要。
高纯气体管道的现场安装应整洁干净,安装人员定要戴洁净手套。支架设置距离应符合图纸设计要求,每个固定的点都套上EP管的橡胶套。预制好的管子运到现场,不能磕碰踩踏,不能直接放到地面上,担上支架后,上管卡。
高纯气体管道按其流通介质的工艺要求一般采用薄壁不锈钢管,通常采用316L(00Cr17Ni14Mo2)。主要有铬、镍、钼三种合金元素,铬的存在上升了不锈钢在氧化性介质中的耐腐蚀性,形成一层富铬氧化膜;而钼的存在则上升了不锈钢在非氧化性介质中的耐腐蚀性;镍是奥氏体的形成元素,它们的存在既上升了钢的耐腐蚀性,又上升了钢的工艺性能。
生产厂家一般都是将其压入钢瓶或玻璃钢瓶中,并用清洁气体稀释成一定浓度,作为商品出售。在生产车间或实验室中可用玻璃容器、塑料袋或注射器临时保存。被贮存的气体不能与容器发生化学作用,也不能通过器壁或缝隙漏掉。