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高纯气体氧气用于二氧化硅的化学气相沉积，作为氧化源和生产高纯水的试剂，干氧化与四氟化碳混合用于等离子体蚀刻。应注意安全，并应做好防震，防火，耐热和防油等工作。
高纯气体氧气通常只需要氧气纯度，而对其他卫生条件没有特殊要求。同时，它还包含有害气体，例如一氧化碳，甲烷，湿气，细菌和灰尘。工业氧气主要用于焊接和气焊、气割等。
高纯气体氦气在运输储存、使用时都应分类堆放，不准靠近明火和热源，应做到勿近火、勿沾油腊、勿爆晒、勿重抛、勿撞击，严禁在气瓶身上进行引弧或电弧，严禁野蛮装卸，短距离移动氦气钢瓶应使用钢瓶专用手推车，长距离移动钢瓶应用危险品运输车辆运输。
工业高纯氧气是用于工业生产和产品加工的气体。低质量要求通常要求纯度达到99％或更高。填充程序不如医用氧气严格。水和其他杂质经常混入并保留在氧气瓶的氧气瓶中。混入并残留在钢瓶中的水将导致氧气瓶的内壁生锈，这将导致瓶中的气体产生异味。
