使用标准气体高压净化器及其技术的特点是净化水平高、耐高压、使用方便、投资少,同时该技术可以推广应用于超纯气体的生产制造,随着我国半导体、光电技术的飞速发展,此类技术将有广泛的市场空间。下面针对几种典型的气体终端净化进行简要的介绍。
标准气体采用高效的脱氧催化剂,利用脱氧催化剂的氧化还原特点,脱除N2中的痕量O2,脱氧在室温下进行,催化剂失活后通氢还原,还原温度为350-450℃,其特点是有一定的水蒸汽排出。然后用大量的N2吹洗或抽空与通氮相结合的方式将H2吹净。
经过高压脱氧器脱氧,产品瓶的氧含量可小于0.3PPM(V/V),该净化器的特点:耐高压,非常适于气体的配制;脱氧效果明显,脱氧容量大,催化剂使用寿命长,我们实验室所用的高氮净化器,已用5年,效果依然良好。
标准气体净化器内充装两种耐低温的多孔吸附剂,经过良好的换热设计,在低温条件下吸附,可有效将H2、He中杂质除去,其纯度可达99.9999%,由于条件十分的苛刻,操作者需要经过严格的培训指导,否则极易发生安全事故。采用此法净化H2的技术,也可以推广为规模化H2净化装置,该低温法是高纯H2生产的重要方法,因为该方法可有效除去H2中的N2、CO、CH4等