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高纯气体氧气用于二氧化硅的化学气相沉积，作为氧化源和生产高纯水的试剂，干氧化与四氟化碳混合用于等离子体蚀刻。应注意安全，并应做好防震，防火，耐热和防油等工作。
高纯气体氧气通常只需要氧气纯度，而对其他卫生条件没有特殊要求。同时，它还包含有害气体，例如一氧化碳，甲烷，湿气，细菌和灰尘。工业氧气主要用于焊接和气焊、气割等。
高纯气体厂家在已经使用的高纯气体保存方法有,在高压容器内壁镀金,镍等金属;甩氟树脂等塑料作涂料;将高压容器内壁抛光,预先充填较高浓度的一氧化氮或氧气进行吸附平衡处理等方法。
对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。
管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。
