联系电话：15904947308
公司地址：大连开发区董家沟街道杨树村
网址：www.dlkrqt.cn
特种气体的分类方式很多种，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、砷系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。同时，以上分类存在交叉，例如四氯化硅（SiCl4）既属于硅系气体，又属于外延气体，同时在化学气相沉积(CVD)中也存在应用。
特种气体主要包括电子气体、医疗气体、标准气体、激光气体、食品气体、电光源气体等，其中，电子气体广泛用于集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆等电子产业的加工制造过程，主要包括清洗、蚀刻、光刻、外延、掺杂等，是下游行业关键性化工基础材料，被誉为电子产业的“粮食”和“源”，现有单元特种气体260余种，可配制成25000多种混合气体。
特种气体的主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测。可以根据客户的不同需求和产品的不同特性，采取不同的工序进行组合。
