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急性中毒时，轻者出现头痛、头昏、恶心、眼痛、咳嗽、痰中带血、声音嘶哑、呼吸困难、胸闷、胸痛等症状，重者发生肺炎、肺水肿、肺不张，眼角膜可见溃疡或混浊。皮肤直接接触可出现大量粟粒样红色小丘疹而呈潮红痛热。慢性影响使长期较高浓度接触，可引起慢性支气管炎、胃肠功能障碍及牙齿酸蚀症。对接触六氟化硫气体各相关设备运行、检修及气体试验工作人员在正式工作之前，首先要接受安全防护教育和有关培训。
在新瓶内存放半年以上的六氟化硫气体，使用前应再次进行抽检，符合标准后方准使用。 风险品专车运输，最 好是厂家直接送货并有合格的押运员，懂行的搬运工，轻装轻卸，瓶帽有必要配戴好，避免在轿车急刹车及装卸过程中撞开瓶阀发生风险，特别是高纯氢等易燃气的运输。
要保证标准特种气体的稳定性，必须考虑气瓶材质对所配气体的影响，不能对气体产生吸附、氧化等,在有效期限内量值必须稳定可靠,标准气的有效期一般为一年。特种气体的分类方式很多种，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、砷系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。
按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。同时，以上分类存在交叉，例如四氯化硅（SiCl4）既属于硅系气体，又属于外延气体，同时在化学气相沉积(CVD)中也存在应用。
